離子注入機劑量控制系統(tǒng)

系統(tǒng)功能：

1）實時測量離子束電流；

2）計算被注入器件離子束累加劑量，控制離子注入完成時間；

3）精確控制工藝腔內掃描盤轉動完成離子注入工藝；

4）精確控制離子束注入角度，保證離子束注入質量；

技術特點：

1）芯片制造中核心關鍵設備子系統(tǒng)國產化平替；

2）搭載實時操作系統(tǒng)，保證離子注入工藝穩(wěn)定可靠；

3）高精度劑量測量與實時計算累計劑量；

4）系統(tǒng)靈活度高，劑量控制系統(tǒng)完美適配高能離子注入機、中束流離子注入機、大束流離子注入機；